1.臭氧是一種無色且非常不穩定的氣體，無法被控制或儲存，因此臭氧無法在水中提供持續性的殺菌效果(如：在水中加入氯氣消毒)，所以細菌極可能會在貯水槽或輸送管線中繁殖，而這正是臭氧處理系統最大的缺點。
2.利用臭氧處理水質的方法很普遍，且其運用在大型水處理系統中亦行之多年，一般而言，臭氧去除污染物的效果較氯來的快且強，在殺菌效果上亦較氯為佳，此外，臭氧可去除水中的色度及異味，以改善水的味道。
3.許多市售臭氧機在設計上並不完善，因為具完善的系統設計相當昂貴，然而，欲達到有效淨水效果，系統設計絕對需要完善，否則淨水效果不佳。
4.臭氧機主要是控制水中微生物(如細菌、病毒)的淨水設備。但經臭氧處理過的水，若未經妥善儲存，很難避免二次污染的情形。
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